近日，上海交通大學電子信息與電氣工程學院電子工程系毛軍發院士、周亮教授課題組發表低損耗異構異構集成W波段毫米波雷達系統研究成果。它旨在發布集成電路設計領域的最新技術發展和文獻成果，代表當前行業的最高技術水平。

創新成果

異構和異構集成毫米波雷達采用自主研發的硅基MEMS光敏復合膜多層布線工藝，將硅基鎖相環芯片、SiGe收發器芯片、GaN功率放大芯片、封裝天線、電容器和其他無源元件。雷達探測距離大于800米，最高分辨率優于0.08米，重量僅78克。綜合性能指標世界領先。

這一成果突破了多芯片的精確定位和層電介質中微圖案制備等關鍵技術，大大縮短了芯片之間以及芯片與無源器件之間的互連長度，降低了互連損耗，攻克了化合物半導體互連結構和硅基半導體器件后向工藝兼容性不足的問題，同時很好地處理了布線之間的串擾和芯片之間的電磁兼容性。

目前摩爾定律面臨著物理、技術和成本限制的多重挑戰。集成電路在努力沿著摩爾定律預測的尺寸減小的道路發展的同時，它們迫切需要開辟新的方向，繞過摩爾定律繼續發展。三維異質集成可以突破單個半導體工藝電路的性能和功能極限，實現集成電路從硅或化合物半導體單同質工藝集成到異質集成，從平面集成到三維集成，是后摩爾時代集成電路的發展 我國集成電路的主流方向也是我國集成電路發展的突破和歷史機遇。這一成果所開發的工藝和設計技術必將推動異構技術的快速發展。

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